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扇出型晶圓級(jí)熱拆鍵合

簡(jiǎn)要描述:

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

222
詳細(xì)介紹

一、功能特點(diǎn)

? FOWLP優(yōu)化熱拆鍵合

? 全自動(dòng)脫膠

? FOWLP晶圓翹曲控制和測(cè)量

? FOWLP晶圓正反面標(biāo)記

? 可獨(dú)立的全自動(dòng)翹曲矯正模式

? 符合SEMI E95的MMI

? 符合SEMI E005和E030的SECS/GEM

二、機(jī)器描述

1、半自動(dòng)熱拆鍵合機(jī) MDM330s

晶圓尺寸: 300/330 mm

晶圓厚度: 400µm - 1000µm

溫度控制: 室溫 - 240℃

溫度均勻性: ±2℃

流程模式:

? 拆鍵合和脫膠工藝

? 翹曲矯正工藝

? 手動(dòng)裝載

翹曲處理能力: 輸入:≤ ±15mm輸出:<1 mm*

晶圓傳輸系統(tǒng): 三溫?zé)o接觸傳輸

子系統(tǒng) :全自動(dòng)脫膠

2、全自動(dòng)熱拆鍵合機(jī)ADM330

晶圓尺寸: 300/330 mm

晶圓厚度: 400µm - 1000µm

溫度控制 :室溫 - 240℃

溫度均勻性: ±2℃

流程模式:

? 拆鍵合和脫膠工藝

? 翹曲矯正工藝

WPH:>20個(gè)晶圓/時(shí)

翹曲處理能力 :

輸入:±5 mm

輸出:<1 mm*


晶圓傳輸系統(tǒng): 三溫?zé)o接觸傳輸

子系統(tǒng) :

? Wafer ID雙面讀取

? 翹曲測(cè)量

? 雙面激光標(biāo)記

通信系統(tǒng):SECS/GEM與GEM300


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