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透射電鏡樣品桿清洗機

簡要描述:一、產品介紹CIF透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源設計,清洗快速高效,低轟擊損傷,同時可實現常規(guī)等離子清洗

基礎信息

產品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數

210
詳細介紹

一、產品介紹

CIF透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源設計,清洗快速高效,低轟擊損傷,同時可實現常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

二、產品特點

u 遠程離子清洗源

u 一機多用

u 清洗快速高效,低轟擊損傷

三、技術參數

產品型號

CIF-TEM

等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-120W可調

遠程等離子源,自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸?180xH100mm

清洗數量

可同時清洗3支TEM樣品桿

適配品牌

THERMO FISHERFEI)、日立HITACHI、捷歐路JEOL

氣體控制

標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

質量流量計(MFC),皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

真空泵

前級泵

抽氣速率2 L/s

分子泵

極限真空:CF:5x10-6Pa,ISO-K: 3x10-5Pa

分子泵抽速>80L/s (N2)

入口法蘭:DN100CF/DN100 ISO-K   

質量保證

二年質保,終身維護

   

220V,50/60Hz,300W


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